产品描述
1. 设备总体概述
SL-HTQCW150高速旋切激光切割打孔机是苏州首镭激光有限公司研发的高精度、高效率激光加工设备，采用准连续波光纤激光技术，搭配高速旋切切割头与三轴联动运动平台，主要适配氮化硅基板、陶瓷、晶圆等薄厚精密板材的激光切割、打孔加工。设备具备加工精度高、运行稳定性好、破片率低、自动化程度高等优势，可满足工业化批量精密加工生产需求。
2. 核心设备性能指标
2.1 基础运行性能参数
本章节为设备基础加工与运动核心参数，为设备常规运行标准指标。
- 工作幅面：600mm×600mm，可覆盖常规精密板材加工需求；
- 定位精度：±0.03mm/m，保障批量加工一致性；
- 最大运行速度：10m/min，兼顾加工精度与生产效率。
2.2 关键可靠性与生产指标
2.2.1 每小时产出WPH：≥10片
指标定义：在指定固定工艺条件（固定切割功率、加工速度等参数）下，依据批次标准加工时长，核算设备每小时可加工的氮化硅基板成品数量。
2.2.2 平均可利用时间Uptime：≥90%
指标定义：平均可利用时间=（计划生产时间-设备停机时间）/计划生产时间×100%，考核设备有效生产运行占比。
2.2.3 平均无故障时间MTBF：≥1000h
指标定义：指设备两次故障停机的平均运行间隔时间，设备待机时间（缺料、无操作人员等非设备故障停机）计入设备运行时间。
2.2.4 平均修复时间MTTR：≤5h
指标定义：设备月度故障停机、维修的平均耗时，考核设备故障修复效率。
2.2.5 破片率：≤1/10000
指标定义：设备每加工一万片晶圆产品，产生破损不良品的概率，保障批量加工良品率。
3. 设备整体配置要求
3.1 基础模块配置清单
设备整机由五大核心模块组成，配置完整、功能独立，满足精密加工全流程需求，具体配置如下：
|
配置名称 |
数量 |
备注 |
|
机械结构模块 |
1套 |
设备主体承载与运动结构 |
|
激光系统模块 |
1套 |
核心激光发生与加工模块 |
|
控制系统配置 |
1套 |
设备运行与加工编程控制核心 |
|
辅助系统 |
1套 |
除尘、稳压等辅助功能 |
|
安全配置 |
1套 |
整机安全防护、防激光辐射 |
3.2 各模块详细功能与技术指标
3.2.1 机械结构模块
1. 重复定位精度：优于±0.02mm，满足高精度重复加工需求；
2. 运动平台：采用X/Y/Z三轴联动结构，有效行程≥600mm×600mm×100mm，适配标准加工幅面及不同厚度工件加工；
3. 设备主体材质：大理石主体结构，整体平面度≤0.005mm/m，结构稳定性强、不易变形；
4. 加工切面质量：切割面粗糙度Ra≤3μm，加工切面光滑无毛刺；
5. 定位夹具：配备真空吸附+气动辅助定位双模式，吸附力≥-80kPa，可适配0.1mm~10mm厚度陶瓷、氮化硅、晶圆等工件精准固定。
3.2.2 激光系统模块
1. 加工机头：搭载进口高速旋切头，集成打孔、切割一体化功能，打孔速度≥35个/秒，高速高效加工；
2. 激光器寿命：设计使用寿命≥100000小时，设备长期运行稳定性高；
3. 平均输出功率：≥150W，满足各类精密板材切割、打孔功率需求；
4. 机身材质：采用高强度铝合金或铸铁材质，整体变形量≤0.01mm/m，抗形变、耐磨损；
5. 峰值功率：≥1500W（测试条件：脉宽10μs、占空比10%）；
6. 激光波长：1064nm，适配陶瓷、半导体基板等材料加工；
7. 光束质量：M²≤1.2，光束集中度高，加工精度优异；
8. 脉冲宽度：100ns～100μs连续可调，可适配不同工艺加工需求；
9. 重复频率：1kHz～50kHz连续可调，工艺参数可调范围广；
10. 传输光纤：采用低损耗石英光纤，芯径支持50μm/100μm可选，激光传输效率≥95%；
11. 聚焦系统：配备进口石英聚焦镜，光斑直径≤20μm，标配镜筒防尘保护结构，避免粉尘污染镜头；
12. 激光器类型：准连续波（QCW）光纤激光器。
3.2.3 控制系统配置
1. 数控系统：多轴联动专用数控系统，运算速度≥1GHz，设备存储容量≥16GB，运行响应快速、稳定；
2. 操作界面：1080P高清彩色触控屏，分辨率1920×1080，支持中/英文语言切换，配备物理快捷键，操作便捷；
3. 软件功能：支持DXF、PLT、AI等主流图形格式导入，具备智能自动排版功能，材料利用率≥90%；自带断点续切功能，设备中断后可接续加工，避免物料浪费；
4. 外接接口：配备1000Mbps以太网接口、2个USB3.0接口、1个RS485接口，全面支持MES系统对接，适配自动化产线集成。
3.2.4 辅助系统
1. 除尘系统：内置负压除尘模块，负压值≥-5kPa，可及时清理加工粉尘、碎屑；
2. 过滤配置：搭载HEPA高精度滤芯，粉尘过滤效率≥99.97%，保障设备内部洁净度及车间生产环境。
3.2.5 安全配置
1. 整机防护等级：IP54，设备外壳采用≥1.5mm厚冷轧钢板静电喷塑工艺，防尘、防水、耐腐蚀；
2. 激光防护等级：Class4工业激光防护标准；
3. 光路结构：全封闭光路设计，杜绝激光外泄；
4. 防护玻璃：配备1064nm专用防激光玻璃，OD值≥7，有效防护激光辐射；
5. 应急装置：标配红色紧急停止按钮，突发情况可快速停机；
6. 标识配置：机身粘贴激光危险警示标识、标准操作流程标识，规范操作、规避风险。
3.2.6 整体加工精度
设备成品加工精度可达±0.02mm，满足高精度精密零部件批量加工要求。
3.3 专属特殊配置要求
设备标配双硬盘配置，单块硬盘容量1T，双盘互为备份，实现设备操作软件、加工程序、运行数据实时自动备份，杜绝数据丢失，保障设备长期稳定运行。
4. 随机赠送配件及工具清单（标配）
设备出厂标配以下全套配件、耗材及维修工具，无需额外采购，具体清单如下：
|
配件名称 |
数量 |
备注 |
|
陶瓷环 |
2个 |
易损备用配件 |
|
保护镜片 |
3片 |
激光镜头防护备用耗材 |
|
喷嘴 |
2个 |
单孔+双孔各1个，适配不同工艺 |
|
密封圈 |
3个 |
设备密封备用配件 |
|
基础工具包 |
1套 |
含内六角扳手、调光片、调光纸等调试维修工具 |
|
防护眼镜 |
1副 |
激光操作专用防护用具 |
欢迎您的留言咨询